低圧プラズマ装置 オーロラスタンダード

オーロラスタンダードユニットは、複雑な部品の洗浄と活性化のために設計されています。その完全な一次プラズマ浸漬とユニークな側壁電極は、複数の棚や大きな部品に均一で確実な処理を提供します。

このシステムの表面処理プロセスは、主に電子機器や医療機器の処理に使用されます。PLC制御により、重要なプロセス制御と監視が保証されます。また、プロセスレシピの保存も可能なため、工業用連続生産だけでなく、研究開発ラボでも多用途に使用できます。

メイン
特徴  

 

オーロラ・スタンダード・システム

  • 複雑な部品の均一な処理のための完全な一次プラズマ浸漬
  • ユニークなサイドウォール電極により、複数の棚や大きな部品も処理可能
  • チャンバー寸法 21.25インチ x 15.74インチ x 16.5インチ
  • タッチスクリーン付きPLC制御による厳密なプロセス制御
  • パスワード保護下でのプロセスレシピ保存
  • 複数のマスフローコントローラーによる正確なガスフローと混合
  • 1000ワット、13.56RFジェネレーターと自動マッチネットワーク