Openair-Plasma®プロセスモニタリング

Openair-Plasma®システムは、99%以上の稼働率を達成しており、プラズマトリート社のお客様に最大限のプロセス能力をご提供することができます。またOpenair-Plasma®ノズルには、三重プロセスモニタリング装置を設置することができます。そのため、システムの機能停止に素早く効果的に対応し、防止することができます。

光学モニタリング/管理

均一な高品質のプラズマを維持するには、発生したプラズマ流のスペクトルを連続的にモニタリングする必要があります。プラズマノズルに内蔵したセンサーを1チャンネル光学検出システムの一部として使用し、プラズマからの発光を測定します。測定後、発光に関連するスペクトル範囲の振幅評価を連続的に行います。このモニタリングはプラズマの発生の有無とは無関係に実施するものです。それにより、プラズマのプロセスパラメータについて信頼性の高いデータを得ることができます。

移動制御装置/モニタリング

プラズマ強度や実効距離の他にも、プラズマノズルの移動速度・回転速度が処理の品質を決定する重要な基準となります。プラズマトリート社のシステムでは、移動制御システムを利用し、プロセス稼働の信頼性と高い製造プロセス信頼性を確保しています。

媒体供給制御

プロセス固有のプラズマパラメータ(温度、強度)を確実に再現するためには、媒体の供給を制御する必要があります。プラズマトリート社では、小型コントローラーによる制御を行うフロー測定装置など、必要な全てのモニタリング装置をご用意しています。

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