プラズマの特性評価

プラズマの特性評価を行う際に特に重要となる測定変数としては、電子温度と、エネルギーを与えることで励起状態になっている種類の紫外線・可視光域における発光が挙げられます。

プラスチックは温度による影響を非常に受けやすいのですが、ダメージを与えることなく大気圧下で前処理を施すには、電子温度が高く、イオン温度が低いプラズマが必要となります。

発光分析装置(OES)を利用すれば、プラズマの緩和*による発光現象(光学発光)を検出することができます。可視光域、および特に紫外線域における種固有の輝線スペクトルは、光ファイバーを通じて評価電子機器に送信され、専用ソフトウェアで解析されます。プラズマトリートシステムのプロセスモニタリングコンポーネントは、光学モニタリングの原理に基づいて作動します。これにより、プラズマプロセス全体の品質を一定に保つことができるのです。

* 緩和:基底状態へのプラズマの遷移。このプロセスでは、エネルギーが与えられ励起状態にある電子がもとの準位に戻るときに光を大気中に放射します。

可視光・紫外線域におけるプラズマの発光スペクトル
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