高出力FG5002S/5005Sジェネレーター：モニタリング機能、診断機能、サービス機能が実現する最高レベルの稼働率
最高の性能を備えたプラズマジェネレーター FG5000シリーズは、最新の半導体技術と数多くのセンサーを組み合わせ、最高の使いやすさを実現しています。プラズマチャンバー内の圧力、電流、電圧、周波数を測定する一体型アナログモニターを使用し、プラズマからの発光分析を行うことによって、プロセス信頼性を最大限に高めています。
プラズマジェネレーターの制御を行うタッチスクリーンコントロールパネルには、使いやすく、判りやすい設計が施されています。このパネルには、シグナルチェーン機能付の高レベル・低レベル制御装置が組み込まれています。
Sシリーズ：豊富な一体型プロセス制御装置
標準的な用途
- 完成したシステムへの組み入れ
- 厳しい環境条件下におけるマルチシフト運転に適した特徴
- さまざまなプロトコル機能を必要とする工業用途
- ロボット補助製造システム
FG 5002S/5005Sジェネレーターの主な特徴
- デジタル式高周波数プラズマジェネレーター、システム制御装置、一体型小型コントローラーによる出力制御
- ステータスやエラーメッセージを表示するタッチスクリーンコントロールパネル（人間工学に基づく操作
- 総合サービスマニュアル
- 出力：2kVA（FG5002）または5kVA（最大4個／8個のプラズマノズルを稼働）
- 電圧源：3x 400V
- 運転温度範囲：0～40℃
- サービス別のコントロールキャビネットへの設置
- 豊富なモニタリング機能による最高レベルのプロセス信頼性・再現性
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