高出力FG5002S/5005Sジェネレーター:モニタリング機能、診断機能、サービス機能が実現する最高レベルの稼働率

最高の性能を備えたプラズマジェネレーター FG5000シリーズは、最新の半導体技術と数多くのセンサーを組み合わせ、最高の使いやすさを実現しています。プラズマチャンバー内の圧力、電流、電圧、周波数を測定する一体型アナログモニターを使用し、プラズマからの発光分析を行うことによって、プロセス信頼性を最大限に高めています

プラズマジェネレーターの制御を行うタッチスクリーンコントロールパネルには、使いやすく、判りやすい設計が施されています。このパネルには、シグナルチェーン機能付の高レベル・低レベル制御装置が組み込まれています。

FG5002Sジェネレーター
タッチスクリーンコントロールパネル

Sシリーズ:豊富な一体型プロセス制御装置

限度
サービスメニュー
実測値のヒストグラム
エラーメニュー

標準的な用途

  • 完成したシステムへの組み入れ
  • 厳しい環境条件下におけるマルチシフト運転に適した特徴
  • さまざまなプロトコル機能を必要とする工業用途
  • ロボット補助製造システム

FG 5002S/5005Sジェネレーターの主な特徴

  • デジタル式高周波数プラズマジェネレーター、システム制御装置、一体型小型コントローラーによる出力制御
  • ステータスやエラーメッセージを表示するタッチスクリーンコントロールパネル(人間工学に基づく操作
  • 総合サービスマニュアル
  • 出力:2kVA(FG5002)または5kVA(最大4個/8個のプラズマノズルを稼働)
  • 電圧源:3x 400V
  • 運転温度範囲:0~40℃
  • サービス別のコントロールキャビネットへの設置
  • 豊富なモニタリング機能による最高レベルのプロセス信頼性・再現性
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